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產品詳情

  • 產品名稱：南京供應HORIBA崛場在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ

  • 產品型號： UVISEL Plus In-Situ
  • 產品廠商：HORIBA堀場
  • 產品價格：0
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簡單介紹：
南京供應HORIBA崛場在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現。
詳情介紹：

南京供應HORIBA崛場在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ國內各區(qū)域供應

  • 高速、準確
  • 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包
  • 便于在線和離線間切換

 

可獲得的信息

  • 薄膜厚度
  • 光學常數（n,k）
  • 材料組成
    • 光譜范圍：190-885 nm，可擴展至 190-2100 nm
    • 光源：75W氙燈或150W氙燈
    • 探測系統(tǒng)：單點或實時光譜采集使用高靈敏度，寬動態(tài)范圍的PMT探測器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
    • 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
    • 機械適配器：CF35或KF40法蘭

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