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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

    • 產(chǎn)品型號： ET4000
    • 產(chǎn)品廠商：KOSAKA小坂研究所
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    Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000
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    Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

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    Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

    Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000


    微細形狀測定機

    ET4000系列

    · 高精度．安定性．機能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。


    · 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。


    · ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。


    · ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。

    · ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細形狀測定機。


    · ET4300一適合12"樣品測量。

    特長
    *大試片尺寸 210×210mm~300×400mm
    重現(xiàn)性 1σ 0.5nm以內(nèi)
    測定范圍 Z:100μm X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
    分解能 Z:0.1nm X:0.1μm
    測定力

    0.5μN~500μN (0.05mg-50mg)


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